8MTL系列電動(dòng)平移臺(tái)采用三相無(wú)鐵無(wú)刷伺服電機(jī)技術(shù)，可通過(guò)高精度，可重復(fù)性和低摩擦力實(shí)現(xiàn)零間隙運(yùn)動(dòng)。線性非接觸式光學(xué)編碼器可確保以亞納米級(jí)的運(yùn)動(dòng)分辨率直接控制位置。氧化鋁合金保證了高溫穩(wěn)定性，8MTL儀器的柔軟性和優(yōu)異的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng)學(xué)，無(wú)導(dǎo)向系統(tǒng)漂移。該平臺(tái)占地面積小，可將其集成到高密度機(jī)器和狹小空間應(yīng)用中，且可用于超凈室和真空（高達(dá)10-3 Torr）應(yīng)用。
8MTL1301-170
型號(hào) | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
行程 | 170 mm | |||
編碼器類型 | Optical Encoder | |||
編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
編碼器光柵周期 | 20 µm | |||
精度: |
| |||
校準(zhǔn)前 | ±5 µm | |||
校準(zhǔn)后 | ±1 µm | |||
雙向重復(fù)精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
雙向重復(fù)精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
速率(載重4kg) | <2000> | |||
載重(置于中心) | 30kg | |||
重量 | 4.1kg | |||
8MTL1401-300
型號(hào) | 8MTL1401-300-LEn1-025 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
行程 | 300 mm | |||
編碼器類型 | Optical Encoder | |||
編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
編碼器光柵周期 | 20 µm | |||
精度: |
| |||
校準(zhǔn)前 | ±5 µm | |||
校準(zhǔn)后 | ±1 µm | |||
雙向重復(fù)精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
雙向重復(fù)精度(RMS) | ±0.08 µm | |||
速率(載重4kg) | <2000> | |||
載重(置于中心) | 30kg | |||
重量 | 6.75kg | |||
8MTL165-300
型號(hào) | 8MTL165-300-LEn1-025 | 8MTL165-300-LEn1-050 | 8MTL165-300-LEn1-100 | 8MTL165-300-LEn1-200 | |
行程 | 300 mm | ||||
編碼器類型 | Optical Encoder | ||||
編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
編碼器光柵周期 | 20 µm | ||||
精度 | 校準(zhǔn)前 | ±10 µm | |||
校準(zhǔn)后 | ±1 µm | ||||
雙向重復(fù)精度(峰峰值) | ±0.5 µm | ||||
雙向重復(fù)精度(RMS) | ±0.24 µm | ||||
速率(載重4kg) | <2000> | ||||
載重(置于中心) | 50kg | ||||
重量 | 13.5kg | ||||
8MTL220
型號(hào) | 8MTL220-400-LEn1 | 8MTL220-600-LEn1 | |
行程 | 400 mm | 600 mm | |
編碼器類型 | Optical Encoder | ||
編碼器分辨率 | Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) | ||
編碼器光柵周期 | 20 µm | ||
精度 | 校準(zhǔn)前 | ±10 µm | ±12 µm |
校準(zhǔn)后 | ±1 µm | ±1 µm | |
雙向重復(fù)精度(峰峰值) | ±0.5 µm | ||
雙向重復(fù)精度(RMS) | ±0.26 µm | ||
速率(載重4kg) | <2000> | ||
載重(置于中心) | 100kg | ||
重量 | 37kg | 46kg | |
8MTL120XY
型號(hào) | 8MTL120XY-LEn1-025 | 8MTL120XY-LEn1-050 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
行程 | 120 x 120 mm | ||||
編碼器類型 | Optical Encoder | ||||
編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
編碼器光柵周期 | 20 µm | ||||
精度 | 校準(zhǔn)前 | ±4 µm | |||
校準(zhǔn)后 | ±0.5 µm | ||||
雙向重復(fù)精度(峰峰值) | ±0.15 µm | ||||
雙向重復(fù)精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
速率(載重4kg) | 1000 mm/s | ||||
載重(置于中心) | 30kg | ||||
尺寸 | 240 x 360 x 75 mm | ||||
重量 | 12.5kg | ||||
8MTLF250XY 型號(hào) 8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1 8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1 8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1 8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1 行程 250 x 250 mm 編碼器類型 Optical Encoder 編碼器分辨率 Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) 編碼器光柵周期 20 µm 精度 校準(zhǔn)前 ±5 µm ±6 µm 校準(zhǔn)后 ±1.5 µm ±2 µm 雙向重復(fù)精度(峰峰值) ±0.25 µm ±0.5 µm 雙向重復(fù)精度(RMS) ±0.15 µm ±0.3 µm 發(fā)動(dòng)機(jī)數(shù)量 4 3 2 速率(載重4kg) 1500 mm/s 載重(置于中心) 30kg 尺寸 746 x 746 x 106 mm 重量 ~ 68 kg
