B.主要技術(shù)指標(biāo)：

1、測(cè)量原理：垂直方向：觸針?lè)?，電感傳感器?br/>水平方向：直線光柵；
2、驅(qū)動(dòng)箱水平滑行范圍：100mm；
3、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；
4、傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)；
5、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1μm/100mm；
6、驅(qū)動(dòng)箱升降：滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，機(jī)動(dòng)升降，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位；
7、立柱垂直測(cè)量高度：260mm；
8、工作臺(tái)結(jié)構(gòu)：460mm×720mm大理石平臺(tái)；
9、形狀測(cè)量系統(tǒng)：
1) 測(cè)量范圍：垂直20mm，水平100mm；
2) 測(cè)量精度：垂直±0.2%，水平±0.004%；
3) 垂直分辨力：0.06μm/4mm，0.3μm/20mm；
4) 水平分辨力：1μm ；
5) 測(cè)量參數(shù)：垂直距離，水平距離，兩直線夾角，圓弧半徑，圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓度等形位公差參數(shù)；
6) 圓形放大倍率：10000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；
7) 傳感器測(cè)桿長(zhǎng)：230mm；
8) 測(cè)針長(zhǎng)度：22mm；
9) 針尖角度：11°；
10) 針尖半徑：25μm；
11) 測(cè)力：0.02-0.06N；
12) 傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°；
10、微觀輪廓測(cè)量系統(tǒng)
1) 測(cè)量范圍：垂直400μm，水平100mm；
2) 表面粗糙度示值誤差：≤±5%；
3) 最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；
4) 取樣長(zhǎng)度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
5) 評(píng)定長(zhǎng)度：N×k倍取樣長(zhǎng)度，N=1，2，3，4，5；N為行程長(zhǎng)度內(nèi)任意整數(shù)倍；
6) 粗糙度測(cè)量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；
7) 波紋度測(cè)量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；
8) 原始輪廓測(cè)量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；
9) 微觀輪廓測(cè)量參數(shù)：│X2-X1│，│Y2-Y1│；
10) 圖像分析功能：支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等。
11) 輪廓圖形垂直放大倍率：100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；
12) 輪廓圖形水平放大倍率：50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；
13）傳感器測(cè)針：金剛石棱錐，錐角90°，針尖半徑2μm;

C.儀器的組成：

1、基本配置：
●立柱
●驅(qū)動(dòng)箱
●電箱
●微機(jī)、打印機(jī)
●粗糙度傳感器（標(biāo)準(zhǔn)、剛性）
●形狀傳感器
●V型工作臺(tái)
●調(diào)斜工作臺(tái)
●平口鉗
●校對(duì)樣塊
●高度校準(zhǔn)器具

2、可選附件（價(jià)格另議）
●粗糙度圓弧傳感器
●粗糙度深槽傳感器
●粗糙度小孔傳感器
●萬(wàn)向工作臺(tái)
●可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)專用形狀測(cè)針和粗糙度傳感器
●多功能V型塊
●輪廓儀專用底臺(tái)
●角度校準(zhǔn)器具
●標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)器具