電子探針顯微分析儀EPMA-8050G
電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的,該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。電子探針是運(yùn)用電子所形成的探測針(細(xì)電子束)作為X射線的激發(fā)源來進(jìn)行顯微X射線光譜分析的儀器。分析對象是固體物質(zhì)表面細(xì)小顆?;蛭⑿^(qū)域,范圍直徑為1μm。電子探針可測量的化學(xué)成分的元素范圍一般從原子序數(shù)12(Mg)至92(U),原子序數(shù)大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進(jìn)行測量。電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀,原因是電子探針X射線的本底值高于后者,但電子探針的感量比其他儀器都高。此外,后期生產(chǎn)的儀器,可作X射線背散射照相、透視照相。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射、能作電子熒光觀察等。
從SEN哩病條件到1aA是后。在各種束流睪作下都擁有卓雌空問分臆豐的實(shí)題哂發(fā)射電子光學(xué)系接。
主要應(yīng)用領(lǐng)域:地質(zhì)礦產(chǎn)、鋼鐵有色-催化到、半導(dǎo)體、生物材料。