型號(hào):FFD-系列
說明:應(yīng)用廣泛的FFD系列復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速,高壓縮比,低噪音,清潔無油,節(jié)能
FFD系列復(fù)合分子泵
新產(chǎn)品介紹:
1. 多角度安裝。
2. 高級(jí)限真空。
3. 大抽速:復(fù)合分子泵是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速。
4. 高壓縮比:轉(zhuǎn)子*的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
5. 低噪音:采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對(duì)軸承的磨損小,軸承壽命長,整機(jī)振動(dòng)小,噪音低。
6. 清潔無油:分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。
7. 節(jié)能:由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。
8. FF型復(fù)合分子泵廣泛應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀、真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
主要技術(shù)參數(shù):
型號(hào): FFD-800 FFD-1300 FFD-1800
進(jìn)氣口通徑: DN160mm DN200mm DN250mm
排氣口通徑: KF40mm KF40mm KF40mm
抽氣速率: 800L/s 1300L/s 1800L/s
極限壓力: 5x10-7 Pa (金屬密封);5x10-6 Pa (橡膠密封)
壓縮比: N2 : 108 ;H2 : 4x103
電機(jī)轉(zhuǎn)速: 36000r/min 24000r/min 24000r/min
啟動(dòng)時(shí)間: < 7min < 7min < 7min
冷卻方式: 水冷 水冷 水冷
冷卻水溫: < 24 C < 24 C < 24 C
安裝位置: 任意 任意 任意