CDE ResMap 四點(diǎn)探針 (ResMap 178)4探針測試系統(tǒng)(電阻率,面電阻)
CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,既超卓可靠又簡易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的
CDE ResMap 四點(diǎn)探針 (ResMap 178)
CDE 提供自動(dòng)計(jì)算機(jī)量測的四點(diǎn)探針阻值量測機(jī)臺??焖伲_與軟件控制下針、軟件功能可較佳化下針壓力,即使薄片量測也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作,雙針頭切換。太陽能使用可支持自動(dòng)Loader,300mm 機(jī)臺可使用Front End,可擴(kuò)充3個(gè)量測單元,支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。
光伏測試專用美國ResMap四點(diǎn)探針
CDE ResMap的特點(diǎn)如簡述如下: * 高速穩(wěn)定及自動(dòng)決定范圍量測與傳送,THROUGHPUT高 * 數(shù)字方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性) * 體積小,占無塵室面積少 * 校正簡單,且校正周期長 * 可配
合客戶需求,增強(qiáng)功能與適用性 * 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測頭,并且可以Recipe設(shè)定更換CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,超卓可靠又簡易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的。
主要特點(diǎn): 測量范圍廣,精度高,穩(wěn)定性好,功能齊全強(qiáng)大,軟件好用,維修成本低,服務(wù)好,配件齊全...
美國進(jìn)口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀/太陽能光伏擴(kuò)散薄層電阻測試儀(Four point probe(4PP))
設(shè)備名稱: 四點(diǎn)探針電阻儀 (CDE ResMap)
主機(jī)廠牌、型號與附件: CDE ResMap
規(guī)格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體材料)
設(shè)備用途: 導(dǎo)電薄膜的電阻值分布測量,半導(dǎo)體,光伏
特點(diǎn):
1)針尖壓力一致
2)適用于各種基底材料
3)友好的用戶界面
4)快速測量
5)數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)
應(yīng)用:
1)方塊電阻
2)薄片電阻
3)摻雜濃度
4)金屬層厚度
5)P/N類型
6)I/V測試