儀器名稱:激光共聚焦顯微鏡
品牌: 奧林巴斯
型號:LEXT ols4000
產(chǎn)地:日本
儀器介紹:
1. LEXT 4000備有常規(guī)顯微鏡的功能,并有BF,DF,DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長半導(dǎo)體激光為光源,通過顯微鏡內(nèi)高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描,獲得水平分辨率高達0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進馬達驅(qū)動和5nm光柵控制的聚焦裝置,運用共聚焦技術(shù)(Confocal),逐層獲取樣品各個二維圖像和焦面的縱向空間坐標(biāo)。
2. 經(jīng)計算機處理,將各個焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實形態(tài)(近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將采樣數(shù)據(jù)運算后,可獲得亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚,幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)??勺鳛楦呔葴y量設(shè)備,符合國際計量追溯體系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析。
主要特點:
精益求精的測量性能 :
1>輕松檢測尖銳角
采用了有著高N.A.的專用物鏡,和能限度發(fā)揮405 nm激光性能的專用光學(xué)系統(tǒng),LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
2>克服反射率的差異
LEXT OLS4000采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2個共焦光學(xué)系統(tǒng),那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品,也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。
3>穩(wěn)定的測量環(huán)境
為了排除來自外部的影響,穩(wěn)定測量,LEXT OLS4000機座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機構(gòu)”。所以,可以把LEXT OLS4000放在普通的桌子進行測量作業(yè),不需要專用的防震平臺。
4>更加真實的再現(xiàn)微小凸凹
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000通過安裝在物鏡上方的DIC分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差,生成明暗對比,從而實現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000采用了微分干涉觀察,即使是低倍率的動態(tài)觀察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
5>對應(yīng)大范圍觀察
在高倍率影像觀察中,視場范圍會變窄。LEXT OLS4000搭載了縫合功能,最多可拼接500幅影像,從而能得到高分辨率和大視場范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此,LEXT OLS4000還能對該大視場影像進行3D顯示和3D計測。
理想的操作環(huán)境 :1>通過ID管理來強化自定義和安全性
操作員可以使用自己的ID登錄系統(tǒng),對影像數(shù)據(jù)庫和操作環(huán)境進行自定義。報告和影像上會顯示ID號碼,這樣,誰、何時創(chuàng)建或拍攝等信息便一目了然。此外,還可以對每個ID設(shè)置級別,管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。
2>即使是初次使用者也能安心操作的向?qū)Чδ?/span>
LEXT OLS4000搭載了詳細的向?qū)Чδ?,即使是初次使用者也能立即操作儀器,不需要在閱讀使用說明書或培訓(xùn)上花費時間。也可以對向?qū)Чδ苓M行自定義。
3>不會在觀察中“迷路”的宏觀圖
一直以來,由于高倍率觀察時的視場變窄,經(jīng)常會有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發(fā)生。LEXT OLS4000搭載了宏觀圖功能,始終顯示低倍率觀察時的大范圍影像,在影像上指出“現(xiàn)在在這里”。
4>避免接觸和損壞樣品、自動調(diào)整影像的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
為了避免切換物鏡時損壞樣品,LEXT OLS4000搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的電動物鏡轉(zhuǎn)換器。切換物鏡時,物鏡轉(zhuǎn)換器自動退避,不會接觸樣品。不僅如此,電動物鏡轉(zhuǎn)換器還能同時自動對準(zhǔn)焦點和影像中心,調(diào)整合適的亮度,實現(xiàn)了輕松的倍率變換操作。
5>能提供熟練操作者描繪水平的INR算法
奧林巴斯根據(jù)長年積累的經(jīng)驗和技術(shù),成功的在設(shè)備中嵌入了相當(dāng)于熟練操作者水平的異常值判斷基準(zhǔn)。這就是新搭載在LEXT OLS4000中的INR(Intelligent Noise Reduction)算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。
6>實現(xiàn)了創(chuàng)建報告時必需的快速和簡明易懂
激光顯微鏡可以代替相關(guān)人員,快速而清楚地把觀察和測量結(jié)果制作成報告。LEXT OLS4000在測量結(jié)束后,只要一個點擊就可以完成創(chuàng)建報告任務(wù)。同時,LEXT OLS4000還備有充實的編輯功能,可以自由自在地定制各種報告模板。
的粗糙度分析能力:
1>將激光納入表面粗糙度測量儀的標(biāo)準(zhǔn)中
作為表面粗糙度測量儀的新標(biāo)準(zhǔn),奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正,并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣,對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說,能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外,還搭載了粗糙度專用模式,可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100 mm的粗糙度。
2>微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量儀,無法測量比觸針的針尖直徑更細微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑,所以能夠?qū)ξ⒓毿螤钸M行高分辨率的粗糙度測量。
3>非接觸
使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時,樣品容易受到觸針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會粘在觸針上,無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡,不會影響樣品的表面狀態(tài),可以準(zhǔn)確的測量樣品的表面粗糙度。
4>微細處的測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀,其觸針無法進入微小領(lǐng)域,所以不能對微小領(lǐng)域進行測量。而激光顯微鏡可以正確定位,能輕松測量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。