主要性能體現(xiàn)在于其減震的頻率范圍,以及有效減震百分比。TMC從0.6Hz開始具備減震效果,并且具有對2Hz以上的有效頻率范圍的震動減震效可達(dá)90%的性能。主要采用壓電主動震動消除。TMC的出現(xiàn),使得許多高精度和穩(wěn)定性要求的實驗和儀器運(yùn)用成為可能。TMC減震臺的“剛性”式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇,它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。
主要特點:
? 始于0.6Hz的隔振
? 2Hz開始的主動減振效果可達(dá)90%的的隔振效果
? 高靈敏度,低頻慣性速度傳感器
? 沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性
? 串行和高力壓電技術(shù)
主要應(yīng)用:
? 聚焦離子束隔振
? 掃描電子顯微鏡隔振
? 精密儀器和機(jī)械設(shè)備隔振
? 半導(dǎo)體工業(yè)隔振
? 小型雙光束儀器隔振
? 高大工具的建筑地面振動隔離
? 半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備的震動隔離