分辨率:0.0002mm
準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中L為被測(cè)長(zhǎng)度,單位為mm)
工作臺(tái)
方工作臺(tái)尺寸:260mm×270mm
方工作臺(tái)承放工件高度:140mm
工作臺(tái)承重:40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30′
物鏡
頂針架
夾持直徑:φ100 mm
夾持長(zhǎng)度:700mm
高頂針架
夾持直徑:φ250 mm
夾持長(zhǎng)度: 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測(cè)量范圍:0°~360°
角度測(cè)量分辨率:5″
角度測(cè)量準(zhǔn)確度:30″
CCD 攝像頭
1/3英寸彩色(或黑白)CCD
像素?cái)?shù):795×596
光學(xué)定位器
探測(cè)孔徑: φ5mm
探測(cè)深度:15mm
測(cè)量力:0.1N
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測(cè)頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm