測(cè)量范圍:200mm ×100 mm
分辨率:0.0002mm
準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中L為被測(cè)長(zhǎng)度,
單位為mm)
工作臺(tái)
方工作臺(tái)尺寸:260mm×270mm
方工作臺(tái)承放工件高度:140mm
工作臺(tái)承重:40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30′
物鏡
CCD 攝像頭
1/3英寸彩色(或黑白)CCD
像素?cái)?shù):795×596
光學(xué)定位器
最小探測(cè)孔徑: φ5mm
探測(cè)深度:15mm
測(cè)量力:0.1N
測(cè)頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm
環(huán)境要求:室溫20℃±1℃,相對(duì)濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) : 長(zhǎng)1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量: 450kg