PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物
| 設(shè)備名稱 | 加熱型紫外臭氧清洗機-PCE-22 （2019.11.4-科晶實驗室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 |
| 設(shè)備特點 | ·僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi); ·溫度范圍：5-40℃; ·相對濕度80％，30.5℃，40℃線性降至50％相對濕度; ·主電源波動不超過額定電壓的10％; ·污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45> ·去除分子級別的污染物 ·紫外光固化粘合劑 ·紫外光催化 ·氧化PDMS ·表面消毒 ·刻蝕 ·清洗MEMS 器件 ·清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片 |
| 基本參數(shù) | ·功率：350W ·AC 208~240V，單相 50/60Hz 更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
| 機體結(jié)構(gòu) | 腔體&樣品臺：·不銹鋼殼體 ·抽屜式樣品臺，以便放樣取樣，如圖一。 ·樣品臺面積310 mm x 320 mm ·臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 ·樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)），如圖二。 ·樣品臺可以加熱，溫度可達150℃，如圖三。 ·可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ·設(shè)備運行時間：0.01 秒- 99.9小時，如圖四。
圖一 圖二 圖三 圖四 排氣口：·直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 ·請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外 ·儀器中不包含橡膠管 紫外燈：·可發(fā)出雙波長的水銀燈 ·功率：55W ·發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm ·使用壽命：2500 小時（可更換） ·照射區(qū)域：200 x 200 mm ·可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。 |
| 外形尺寸 | ·510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
| 凈重 | 28kg |
| 認證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
