加熱型紫外臭氧清洗機-PCE-22 （2019.11.4-科晶實驗室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備    3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>    4、配件妥善保管提示

·僅室內使用; 海拔高度5500英尺以內;

·溫度范圍：5-40℃;

·相對濕度80％，30.5℃，40℃線性降至50％相對濕度;

·主電源波動不超過額定電壓的10％;

·污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45>

·去除分子級別的污染物

·紫外光固化粘合劑

·紫外光催化

·氧化PDMS

·表面消毒

·刻蝕

·清洗MEMS 器件

·清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

·功率：350W

·AC 208~240V，單相 50/60Hz

更多參數請聯(lián)系科晶銷售部

腔體&樣品臺：·不銹鋼殼體

·抽屜式樣品臺，以便放樣取樣，如圖一。

·樣品臺面積310 mm x 320 mm

·臭氧通風裝置安裝在腔體上

·樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調），如圖二。

·樣品臺可以加熱，溫度可達150℃，如圖三。

·可設置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

·設備運行時間：0.01 秒- 99.9小時，如圖四。

           圖一                        圖二                       圖三                          圖四

排氣口：·直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

·請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

·儀器中不包含橡膠管

紫外燈：·可發(fā)出雙波長的水銀燈

·功率：55W

·發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm

·使用壽命：2500 小時（可更換）

·照射區(qū)域：200 x 200 mm

·可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。

·510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

28kg

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。