氣體質量流量計 SFM5300
適用于大批量成本敏感的OEM項目
SFM5300質量流量計具有的精度（誤差＜1%）、可重復性和長期穩(wěn)定性，寬動態(tài)測量范圍，尺寸緊湊。SFM5300質量流量計采用鈑金式連接方式和數(shù)字接口。金屬SFM5300是SFM5400系列質量流量計的變種適用于大批量成本敏感的OEM項目。
SFM5300質量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens® 技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結合優(yōu)質材料，其實現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的SFM5300質量流量計。
SFM5300質量流量計是SFC5300質量流量控制器的無閥門版本。兩個傳感器產(chǎn)品具有相同的性能特性，并適用于在類似的應用，這意味著它們可以理想地結合在一起。在SFC5300 網(wǎng)站，你可以找到關于質量流量控制器的進一步信息和詳細規(guī)格。
性能參數(shù)
- 低流量的高精確度（< 1 sccm）
- 優(yōu)良的精度/可重復性（分別為測量值的2% / 0.2%）
- 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
- 尺寸緊湊(downmount安裝連接)
- 多氣體和氣體識別
- 數(shù)字接口
- 高度可配置
- MTBF 169年-無需再校準
應用
- 分析儀器（如氣相色譜、質譜、熱分析）
- 科研（如、）
- 工業(yè)過程自動化（如涂覆、熱處理）
- 半導體產(chǎn)業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
下載中心
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