氣體質(zhì)量流量計 SFM5300
適用于大批量成本敏感的OEM項(xiàng)目
SFM5300質(zhì)量流量計具有的精度(誤差<1%)、可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性,寬動態(tài)測量范圍,尺寸緊湊。SFM5300質(zhì)量流量計采用鈑金式連接方式和數(shù)字接口。金屬SFM5300是SFM5400系列質(zhì)量流量計的變種適用于大批量成本敏感的OEM項(xiàng)目。
SFM5300質(zhì)量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens® 技術(shù),它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結(jié)合優(yōu)質(zhì)材料,其實(shí)現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的SFM5300質(zhì)量流量計。
SFM5300質(zhì)量流量計是SFC5300質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。兩個傳感器產(chǎn)品具有相同的性能特性,并適用于在類似的應(yīng)用,這意味著它們可以理想地結(jié)合在一起。在SFC5300 網(wǎng)站,你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進(jìn)一步信息和詳細(xì)規(guī)格。
性能參數(shù)
- 低流量的高精確度(< 1 sccm)
- 優(yōu)良的精度/可重復(fù)性(分別為測量值的2% / 0.2%)
- 寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
- 尺寸緊湊(downmount安裝連接)
- 多氣體和氣體識別
- 數(shù)字接口
- 高度可配置
- MTBF 169年-無需再校準(zhǔn)
應(yīng)用
- 分析儀器(如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析)
- 科研(如、)
- 工業(yè)過程自動化(如涂覆、熱處理)
- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積)

下載中心
您可以從這里下載有關(guān)Sensiron氣體質(zhì)量流量計的文件。
相關(guān)產(chǎn)品

質(zhì)量流量控制器 SFC5300
SFC5300質(zhì)量流量控制器專門為大批量的成本敏感的OEM項(xiàng)目而設(shè)計,是SFC5400的緊湊版本。

氣體質(zhì)量流量計 SFM5400
SFM5400氣體質(zhì)量流量計是SFC5400氣體質(zhì)量流量控制器的無閥版。該傳感器具有的準(zhǔn)確性、重復(fù)性,寬動態(tài)測量范圍。

質(zhì)量流量控制器 SFC5400
SFC5000質(zhì)量流量控制器滿足寬動態(tài)量程范圍的高精度和高重復(fù)性的控制要求,是多種工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想方案。

定制的(OEM)氣體流量傳感器解決方案
除了標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量傳感器解決方案,我們也以吸引力的性價比提供定制化OEM傳感器解決方案。我們可為您調(diào)整或開發(fā)定制的氣體質(zhì)量流量計。