MS761壓力傳感器晶元的基礎(chǔ)組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機加工膜。植入的電阻利用壓阻效應。絕壓傳感器MS761-A在膜下面有個真空參考腔，差壓傳感器MS761-D的背面耐熱玻璃中間有個孔。0 到100kpa 壓力范圍 （1bar 或14.5PSI)；高靈敏度；符合RoHS 和無鉛
全壓力范圍
| Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
100 | 1 | 1000 | 14.5 | 0.987 | 750 | 10.197 | 401 |
率
參數(shù) | 符號 | 條件 | Min | Max | Unit |
供應電壓 | VS+ | Ta=25℃ | 20 | V | |
儲存溫度范圍 | Ts | -40 | +125 | ℃ | |
過壓 | 5 | Bar |
電氣特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
參數(shù) | 最小 | 典型 | 單位 | 備注 | |
工作壓力范圍 | 0 | - | 1 | bar | |
工作溫度范圍 | -40 | 125 | ℃ | ||
橋路電阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
滿量程 | 190 | 240 | 290 | mV | |
零點 | -40 | 0 | 40 | mV | |
線性 | ±0.15 | ±0.4 | %FS | 1 | |
溫度系數(shù) 電阻 量程 零點 | +2400 -1500 -100 | +2800 -1900
| +3300 -2300 +100 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
| 壓力遲滯 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 | |
| 重復性 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 | |
| 溫度遲滯 | 0.3 | %FS | 5 |
訂購信息
| 產(chǎn)品 | 類型 | 產(chǎn)品說明 | 編號 |
| MS761-A | 絕壓 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | 76125021 |
| MS761-A_0.2 | 絕壓 | 1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f | 76125022 |
| MS761-D | 差壓 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | 76125121 |
The MS761 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings
