高頻輸出：100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
電極尺寸：280×280mm（V1000）/300×300mm（V1000X）/400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
■ 用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除。
■ 特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
■ 規(guī)格
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
反應氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、聯(lián)鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
