CV-3100/CV-4100
X軸 | 測量范圍 | 100mm或200mm | |
分辨率 | 0.05μm | ||
測量方法 | 反射型光柵尺 | ||
驅(qū)動速度 | 80mm/s和手動 | ||
測量速度 | 0.02-5mm/s | ||
測量方向 | 向前/向后 | ||
直線度 | 0.8μm /mm,2μm/mm(當(dāng)X軸在水平方向上) | ||
指示精度 (20℃) | ±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4) ±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4) ±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) ±(0.8+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) L為驅(qū)動長度(mm) | ||
傾斜范圍 | ±45° | ||
Z2軸(立軸) | 垂直行程 | 300mm或500mm | |
分辨率 | 1μm | ||
測量方法 | ABSQLUTE光柵尺 | ||
驅(qū)動速度 | 0-20mm/s和手動 | ||
Z1軸 | 測量范圍 | ±25mm | |
分辨率 | 0.2μm(CV-3100系列) 0.05μm(CV-4100系列) | ||
測量方法 | 光柵尺(CV-31000系列) Laser holigage(CV-4100系列) | ||
指示精度 (20℃) | ±(2+14H/100)μm(CV-3100系列) ±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列) H為水平位置上的測量高度(mm) | ||
探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動 | ||
探針方向 | 向上/向下 | ||
測力 | 30mN | ||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
| 材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | |
基座尺寸(WxH) | 750x600mm或1000x450mm | ||
基座材料 | 花崗巖 | ||
重量 | 主機(jī) | 140kg(S4) 150kg(H4) 155kg(W4) 145lg(S8) 155kg(H8) 160kg(W8) | |
控制裝置 | 14kg | ||
遙控箱 | 0.9kg | ||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 400W主機(jī) |