大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
Map薄膜厚度測繪儀用于測量厚度分布,評價薄膜厚度的均一性,可與所有MProble系列的薄膜測厚儀聯(lián)用。
厚度測繪臺包含:
1. XY電動載物臺,行程:150mm/200mm/300mm
2. 19英寸鋁制底座
3. 探頭適配器
4. 載物臺控制器
5. 厚度拼圖軟件
可選硬件模塊: | |
150XYM | 6英寸(150X150mm)行程電動載物臺 |
200XYM | 8英寸(200X200mm)行程電動載物臺 |
300XYM | 12英寸(300X300mm)行程電動載物臺 |
VAC | 真空吸附器 |
TR | 透射率測量模塊 |
電動載物臺參數(shù):
位移精度 | 小于2um |
分辨率 | 小于0.5um |
驅(qū)動器 | 步進馬達 |
通訊 | USB接口 |
尺寸 | 19X19x10英寸(6和8英寸行程) |
重量 | 12kg |
薄膜厚度分布圖(厚度以顏色標示):
厚度測繪軟件:
我們樂意為您進行免費樣品測量,歡迎。
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