型號MR200 | |||
控制 | 腳步開關控制（上/下） | 晶圓承載臺角度 | 螺旋測微儀控制，可粗/精調(diào)節(jié)，分辨率10µm（0.006°） |
劃片力量 | 可調(diào)（通過氣壓閥） | 晶圓承載臺旋轉(zhuǎn) | 90°固定旋轉(zhuǎn) |
刀頭速度 | 可調(diào) | X-Y位移臺 | 手動，有效行程200x200mm，帶有粗/精微調(diào)螺絲，精20mm/10mm |
刀頭角度 | 可調(diào) | 劃片距離 | 200mm |
刀頭高度 | 可調(diào)，以用于不同厚度的樣品 | 氣壓要求 | 6bar（對于硅晶圓，使用1.9bar) |
顯微鏡 | 高質(zhì)量4倍變焦，放大倍數(shù)8X/40X，無極調(diào)整 | 光源 | 冷光源，環(huán)狀，220V |
目鏡十字線 | 用于根據(jù)參考標準、結構、邊界或其它精密調(diào)整劃線 | 晶圓厚度 | 所有硅晶圓標準厚度 |
光學元件分辨率 | 40X時優(yōu)于10µm | 可切割材質(zhì) | 硅、藍寶石等 |
晶圓承載臺 | 抽真空，直徑100/200mm | 可選 | 視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)、可選更大放大倍率/分辨率的光學元件 |
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1、 數(shù)字測量 | |||
100mm/200mm橫向移動。25mm測微計可以由數(shù)字測微計量計替代。 可選的數(shù)字計量計測量范圍100mm/200mm，讀數(shù)10um，這個選項能實現(xiàn)精準的劃線距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連，實現(xiàn)精準的劃線。只有精定可以擴展到100mm代替25mm、100mm和200mm數(shù)字計量計在結構上有一些不同，當100mm數(shù)字計量計通過粗定位不能測量時，200mm將被使用，因為機械施力更高，MR200可以擴展到500mm機械寬度。 | |||
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2、 相機適配器升級套裝 | |||
CCD相機適配器升級套裝由顯微鏡組建群構成。此外，相機和用于圖像處理的顯示器或PC是的，客戶能自行選擇。 | |||
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3 、 彩色視頻系統(tǒng) | |||
lUSB 2.0 CCD相機 | |||
l一體化計算機 | |||
l圖像處理軟件 | |||
l與相機適配器相連的升級套裝能通過目鏡和顯示器同時監(jiān)測顯微鏡圖像 | |||
圖像處理系統(tǒng)有如下的功能： | |||
l相機圖像由顯示器直播視頻 | |||
l圖像格式JPG或者BMP，可以存儲、加載和文字 | |||
l十字標線、柵格和標尺 | |||
l可測量：距離、角度、半徑、范圍和長度 | |||
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4、 線寬測量 | |||
圖像處理軟件另一個擴展工具是線寬的測量，這個模塊用于半導體行業(yè)高精度的寬度和距離的測量。測量是通過圖像的灰度值分布實現(xiàn)。不需要手動設定標記。 | |||
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5、 MR200基本配置 | |||
一般來說，MR200不配備顯微鏡和光源，客戶可以自己使用自己的相關組件。顯微鏡必須有一個大約70mm的工作距離。 | |||
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6、 氣動電源發(fā)生器 | |||
電磁鐵驅(qū)動電源，如果這種方式電力不足，可采用氣動電源。 精確的劃線，容易的操作：晶片被裝載定位后，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過手動驅(qū)動工作臺的x和y方向移動。劃線能調(diào)節(jié)到參考的標記或樣品的位置。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細監(jiān)測。通過工作臺的x/y方向微調(diào)功能，能實現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點是可調(diào)的。目鏡或顯示器的十字標線能確定金剛刀的著陸點，通過腳踏開關控制升降。因此金剛刀的移動可以通過雙手控制的。 | |||
