工具顯微鏡STM-3020M系列特點:
? 載物臺——高精度2.0+L/200um(L為測量長度)。
技術(shù)參數(shù): 名稱 工具顯微鏡 工具顯微鏡 型號 STM-2015M STM-3020M 貨號# 532-180 532-190 X ,Y軸坐標行程 200x150mm 300x200mm 分辨率 0.1um 鎖緊裝置 X-Y采用精密絲杠傳動,工作臺帶快慢速鎖緊裝置,無任何回程誤差產(chǎn)生 X/Y軸精度 (2+L/200) μm; L: 測量長度 鏡筒 反像 (可選正像三目鏡筒) 目鏡 雙目廣角目鏡WF10X/22mm 物鏡 標配:5X,10X, 20X, 50X ; 可選: 100X 透射光源 可調(diào)LED光源 表面光源 可調(diào)LED光源 Z-軸行程 標配行程:150mm, 可選200mm行程 調(diào)焦方式 手動調(diào)焦 (粗調(diào)/微調(diào)) 數(shù)顯表功能 清零, 方向置換 儀器電源 AC220/50HZ; AC110V/60Hz 可選附件 高精度旋轉(zhuǎn)工作臺 RT4(D:165mm), RT5(262mm) 數(shù)據(jù)處理器DP300 測量軟件 QM2.0 0.5X適配鏡和CCD相機
光學參數(shù):名稱 物鏡 目鏡WF10/22 數(shù)值孔徑
N.A. 有效工作距離
W.D.(mm) 焦距
f(mm)’ 分辨率
R(um) 景深
±△p(um) 總放大倍數(shù) 物方視場
(mm) 5x 0.15 11.6 40 2.1 16.3 50x ¢4.4 10x 0.3 6.3 20 0.9 3.1 100x ¢2.2 20x 0.4 10.3 10 0.69 1.8 200x ¢1.1 50x 0.8 2 4 0.34 0.4 500x ¢0.44 100x 0.8 1.96 2 0.34 0.2 100x ¢0.22
CCD芯片 晶源觀察
POG觀察
IC封裝