產(chǎn)品介紹
NX-20具有形貌表征能力，設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件，避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測(cè)量，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，高掃描器線性度，低閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平，和低系統(tǒng)熱漂移量。
為企業(yè)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的精確AFM工具
精確測(cè)量不同基材的粗糙度
缺陷觀察及分析
高分辨電學(xué)掃描模式
可高精度觀察側(cè)壁的3D掃描模式
提高檢測(cè)的重復(fù)性和高效率
真正的非接觸掃描保護(hù)了探針，提高了掃描精確度
非接觸模式下的掃描速度
雙反饋XY掃描器實(shí)現(xiàn)了3D掃描
優(yōu)化的散熱部件
低噪音檢測(cè)器保證了精確的形貌測(cè)量
位移檢測(cè)器保證了形貌掃描的精確性
沒有壓電蠕變效應(yīng)引起的邊緣超調(diào)誤差
高速掃描過程中的精確高度測(cè)量
正反測(cè)量偏離量，小于0.15%
