產(chǎn)品介紹
Park XE-15具有樣品兼容性。其多種樣品臺設(shè)計，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類，同時延長了探針壽命，降低了使用成本。
多樣品載物臺設(shè)計方便同時測量多個樣品
一次連續(xù)掃描多個樣品
最多支持同時放置16個樣品
樣品移動范圍200mm*200mm
消除了XY方向交叉耦合誤差
樣品和探針分別由獨(dú)立的閉環(huán)掃描器控制
全掃描范圍100um*100um水平線性誤差
水平線性誤差小于2nm
Z軸掃描范圍25um
真正的非接觸掃描延長了探針壽命，保證了高分辨率，保護(hù)了樣品
Z軸伺服速度相比管式掃描器提高了10倍
非接觸模式降低了探針磨損，延長了探針壽命
成像分辨率由于同類原子力顯微鏡
增強(qiáng)了樣品兼容性，提高了掃描精度
便利的操作設(shè)計
開放式樣品空間，樣品及探針更換極為方便
預(yù)對準(zhǔn)探針安裝與同軸光路設(shè)計方便激光調(diào)整
燕尾鎖設(shè)計方便掃描頭拆卸
