產品介紹
Park XE-15具有樣品兼容性。其多種樣品臺設計,為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器,消除了彎曲效應誤差,提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式,擴大了適合樣品種類,同時延長了探針壽命,降低了使用成本。
多樣品載物臺設計方便同時測量多個樣品
一次連續(xù)掃描多個樣品
最多支持同時放置16個樣品
樣品移動范圍200mm*200mm
消除了XY方向交叉耦合誤差
樣品和探針分別由獨立的閉環(huán)掃描器控制
全掃描范圍100um*100um水平線性誤差
水平線性誤差小于2nm
Z軸掃描范圍25um
真正的非接觸掃描延長了探針壽命,保證了高分辨率,保護了樣品
Z軸伺服速度相比管式掃描器提高了10倍
非接觸模式降低了探針磨損,延長了探針壽命
成像分辨率由于同類原子力顯微鏡
增強了樣品兼容性,提高了掃描精度
便利的操作設計
開放式樣品空間,樣品及探針更換極為方便
預對準探針安裝與同軸光路設計方便激光調整
燕尾鎖設計方便掃描頭拆卸