顯微光致發(fā)光光譜掃描系統(tǒng)是具有顯微光致發(fā)光掃描mapping功能的顯微光致發(fā)光光譜儀器,廣泛用于顯微/宏觀PL/RT PLE&EL,PL光致發(fā)光成像。
顯微光致發(fā)光光譜掃描系統(tǒng)測(cè)量功能
室溫顯微光致發(fā)光和光致發(fā)光掃描mapping
室溫顯微光致發(fā)光激發(fā)(吸收)
低溫顯微光致發(fā)光PL
室溫厚度測(cè)量
顯微光致發(fā)光光譜掃描系統(tǒng)應(yīng)用
SiC結(jié)構(gòu)缺陷(如SFs堆垛層錯(cuò),TDs三角形缺陷)
半導(dǎo)體特性研究和測(cè)試(III-V材料)
GaN/ZnO LED晶圓表面分析(表面污染,表面不均勻,反射率和厚度測(cè)試)
NIR CCD傳感器研發(fā)
熱電偶器件研發(fā)
LED材料研發(fā)
TDIPL & IQE測(cè)試
III-V材料光致發(fā)光分析測(cè)試
顯微光致發(fā)光光譜掃描系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
探測(cè)范圍:200-5000nm
系統(tǒng)分辨率:0.045nm@1200gr/mm光柵
CCD分辨率:0.08nm@1800gr/mm 光柵
空間分辨率:1um (其它分辨率可提供)
攝譜儀:1024x256像素格式,95%QE,-100攝氏度TE制冷,暗電流0.0005e-/像素/秒
探測(cè)器:TE制冷高性能CCD/PMT/光電二極管
激光控制:0.1%~(多達(dá)6種激光功率水平)
激光激發(fā):深紫外UV~近紅外NIR
樣品臺(tái):XY掃描臺(tái)行程76mm x 52mm, 重復(fù)精度<1um,分辨率:0.1um
視圖系統(tǒng):樣品成像,輸入光束定位監(jiān)測(cè),1600X數(shù)字圖像CCD相機(jī)IEEE1394接口
物鏡:光譜范圍200-1700nm, 10X,50x,100X
光斑大?。?1um@100x物鏡