菲索干涉儀規(guī)格
•輸入孔徑:10~95mm(可選300mm)
•工作頻率:高達(dá)25Hz
•測量精度:0.032μm(P-V)
•測量像差的P-V值:高達(dá)5μm
•光源:二極管激光器
•光源波長:0.65μm
•成像:Firewire CCD相機(jī)
菲索干涉儀軟件功能
•允許處理真實(shí)圖像和另存為.bmp圖像
•該處理方法的精度約為λ/400
•結(jié)果以Zernike多項(xiàng)式系數(shù)、P-V和RMS值表示,并以2D和3D表示相位分布
為了獲得關(guān)于被測表面的信息,我們打算在x方向引入傾斜,并獲得8到60條干涉條紋,處理包括:
•干涉圖圖像注冊(或從.bmp文件加載)
•確定感興趣區(qū)域
•過濾。它允許排除假極值
•找到極限
•基于極值坐標(biāo)的相位表示;通過Zernike多項(xiàng)式分解,P-V,RMS和PSF計(jì)算
菲索干涉儀軟件功能展示