移相點(diǎn)衍射干涉儀檢測(cè)表面或波前的圖形。數(shù)字是指從參考(即亞波長(zhǎng)孔徑衍射產(chǎn)生的球面波陣面)計(jì)算測(cè)量形式。
性能指標(biāo)
峰谷精度:±0.6 nm(λ/1000)
峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
波前RMS重復(fù)性:<0.23 nm(λ/2800)
簡(jiǎn)單RMS重復(fù)性:<0.06 nm(λ/10500)
激光類型和波長(zhǎng):穩(wěn)定的He-Ne,632.8 nm
數(shù)值孔徑NA:0.55(f#0.91)
數(shù)據(jù)采集:相移干涉測(cè)量法(PSI)