掃描電鏡應用

Vic-2D™ SEM

 

技術背景 Technical Backgroud

掃描電鏡(Scanning Electron Microscope簡稱SEM)作為電子顯微鏡的一類,經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學研究領域中*的重要工具之一。電子顯微鏡技術的應用是建立在光學顯微鏡的基礎之上的,光學顯微鏡的分辨率為0.2μm,掃描電鏡的分辨率可低于2nm,也就是說掃描電鏡在光學顯微鏡的基礎上放大了100倍。進一步拓展了人類從微觀尺度認識和研究物質屬性的能力。

 

近年來隨著更多的可應用于掃描電鏡真空腔內的原位加載和環(huán)境試驗裝置的普及,極大的促成了掃描電鏡從微納尺度的觀察設備到試驗/測量系統(tǒng)的升級。

 

 

而當我們試圖使用SEM的圖像數(shù)據(jù)做更準確的變形/位移場定量分析的時候,普遍存在的一個問題就是使用SEMs在高放大倍率下拍攝圖像時,由于電子束漂移導致的圖像幾何失真,針對這一問題,CSI公司在Vic-2D中提供了修正這些漂移失真和噪聲的功能。如下圖所示,我們可以看到在圖像變形校正前/后的X向主應變的極值相差有數(shù)倍之多,這意味著漂移造成的偏差甚至遠遠超過了試樣本身實際的變形,極大的影響了我們在微觀尺度對材料力學行為的理解和判斷。

 

 

 

為解決高放大倍率下電子束漂移造成的非參數(shù)化的圖像幾何失真和噪聲問題, VIC-2D SEM的整個修正的流程包括特定的漂移校正用參考圖像采集、失真校正和試驗圖像采集、校正和數(shù)據(jù)分析的過程??偟牧鞒谭譃椋?/span>

· 獲取特定的校正參考圖像

· 使用Vic-2D完成失真校正

· 獲取試驗對象圖像

· 使用Vic-2D分析獲取失真校正后的試驗數(shù)據(jù)結果

 

以下鏈接的PDF文檔的詳細介紹了在Vic-2D中如何校正SEM漂移和畸變的過程。 ZIP文件中包含失真校正數(shù)據(jù)的Demo以及圖像序列。

The linked PDF details the procedure for correcting SEM drift and distortion in Vic-2D. The ZIP file contains a demo set of distortion correction data together with an image list.

 

Attachments 
 

說明文檔 SEM Drift Correction

練習文件 Sample Files

 

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