ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理
ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理
ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10
規(guī)格:
X?Y平行移動(dòng):±10mm
精度刻度:0.01m/1div
安裝法蘭:ICF70
玫瑰內(nèi)徑:40mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
X機(jī)械軸
X-70/70-M
規(guī)格
X方向移動(dòng):±12.5mm(線程馬達(dá)驅(qū)動(dòng))、法蘭面間110mm、分辨率0.04μm/pulse、帶限位開關(guān)
安裝法蘭:基座法蘭ICF70FH、移動(dòng)法蘭ICF70FT
焊接貝羅:外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)KMMR-34
本產(chǎn)品是可用于導(dǎo)入真空中安裝的機(jī)器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的超高真空區(qū)域的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)。
規(guī)格
連接法蘭:ICF34
前端軸直徑:6mm
引進(jìn)軸長(zhǎng)度:法蘭面~35L
容許扭矩:4kg/f(磁耦合)
重量:0.55kg
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)VBR-70
規(guī)格
使用焊接回流10 deg/1刻度
傳遞扭矩2N?m手動(dòng)
連接法蘭ICF70FH
旋轉(zhuǎn)棒φ8(SUS304)帶限位器
約820g
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下