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壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。
用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用 普遍。
熱電阻測溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一來進行溫度測量的。
傳感器(圖6)
傳感器(圖6)
熱電阻大都由純金屬材料制成,應(yīng)用 的是鉑和銅,此外,已開始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻。
熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一來測量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù)。在溫度檢測精度要求比較的場合,這種傳感器比較適用。較為廣泛的熱電阻材料為鉑、銅、鎳等,它們具有電阻溫度系數(shù)大、線性好、性能穩(wěn)定、使用溫度范圍寬、加工容易等。用于測量-200℃~+500℃范圍內(nèi)的溫度。
該類傳感器為負溫度系數(shù)傳感器,即傳感器阻值隨溫度的升而減小。
該類傳感器為正溫度系數(shù)傳感器,即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。
它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。激光傳感器是新型測量儀表,它的點是能實現(xiàn)無接觸遠距離測量,速度快,精度高,量程大,抗光、電干擾能力強等。
激光傳感器工作時,先由激光發(fā)射管對準目標發(fā)射激光脈沖。經(jīng)目標反射后激光向各方向散射。部分散射光返回到傳感器接收器,被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二管上。雪崩光電二管是一種內(nèi)部具有放大功能的光學(xué)傳感器,因此它能檢測微弱的光信號,并將其轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電信號。
利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等可實現(xiàn)無接觸遠距離測量。激光傳感器常用于長度(ZLS-Px)、距離(LDM4x)、振動(ZLDS10X)、速度(LDM30x)、方位等物理量的測量,還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測等。
廣泛地應(yīng)用于工業(yè)自動化技術(shù)、檢測技術(shù)及信息處理等方面。霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法。通過霍爾效應(yīng)實驗測定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)。
霍爾傳感器分為線性型霍爾傳感器和開關(guān)型霍爾傳感器兩種。
1、線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射跟隨器組成,它輸出模擬量。
2、開關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件、差分放大器,斯密特觸發(fā)器和輸出級組成,它輸出數(shù)字量。
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