金屬膜厚儀報價
性能優(yōu)勢:
1.精密的三維移動平臺
2.的樣品觀測系統(tǒng)
3.先進的圖像識別
4.輕松實現(xiàn)深槽樣品的檢測
5.四種微孔聚焦準直器,自動切換
6.雙重保護措施,實現(xiàn)無縫防撞
7.采用大面積高分辨率探測器,有效降低檢出限,提高測試精度
優(yōu)勢:
全自動智能控制方式,一鍵式操作!
開機自動自檢、復(fù)位;
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣;
關(guān)蓋推進樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦;
金屬膜厚儀報價
技術(shù)指標:
分析元素范圍:硫(S)~鈾(U)
同時檢測元素:zui多24個元素,多達5層鍍層
檢出限:可達2ppm,zui薄可測試0.005μm
分析含量:一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度:一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)
重復(fù)性:可達0.1%
穩(wěn)定性:可達0.1%
SDD探測器:分辨率低至135eV
先進的微孔準直技術(shù):zui小孔徑達0.1mm,zui小光斑達0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準直器組合
儀器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺移動速度:額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度:小于0.1um
操作環(huán)境濕度:≤90%
操作環(huán)境溫度:15℃~30℃