產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000S/A型光刻機(jī)

技術(shù)參數(shù)：

1、曝光面積：150 mm×150mm

2、分辨力：1μm（膠厚2μm的正膠）

3、對準(zhǔn)精度：±3μm（雙面,片厚0.8μm），±0.8μm（單面）

4、掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸，7英寸

5、樣片尺寸：直徑f30mm--f150mm

                   厚度0.1mm--8mm

6、照明均勻性：±3.5%（f100mm范圍） ±5.5%（f150mm范圍）

7、掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

8、汞燈功率：1000W（直流）

9、*膠厚：400mm（SU8膠，用戶提供勻膠顯影條件）

10、曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）

外形尺寸：

1400mm（長）?1200mm(寬)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光頭

1、 冷光橢球鏡

2、1000 W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

3、XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

4、光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

5、冷卻風(fēng)扇

（2）對準(zhǔn)工件臺

1、掩模樣片相對運(yùn)動臺

2、轉(zhuǎn)動臺

3、樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成

4、樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

5、承片臺4個 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）

6、掩模夾4個 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）

7、掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

1、燈源（配備品2只）、   電源

2、雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

3、目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

4、物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

5、CCD光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

6、XYZ底面對準(zhǔn)工件臺

（4）底面CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)

1、光源（配備品2只）、   電源

2、成像光學(xué)系統(tǒng)(2套,20倍放大)

3、數(shù)據(jù)采集卡

4、CCD

（5）電控系統(tǒng)

1、汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

2、單片機(jī)控制系統(tǒng)

3、控制柜桌

4、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（19英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

1、氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

2、電磁閥驅(qū)動

3、氣動儀表

（7）其他附件（選配）

1、真空泵一臺

2、空壓機(jī)一臺

3、恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

4、管道

（8）技術(shù)資料

1、使用維修說明書