1．技術(shù)特征
l 高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)
l 采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好
l 對(duì)準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位自動(dòng)切換
l 采用嵌入式計(jì)算機(jī)+觸摸屏操作，操作更方便，更時(shí)尚
l 上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)便。對(duì)高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜
2．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：100mm×100mm（可升級(jí)為6英寸）
l 曝光波長(zhǎng)：365nm
l 分辨力：≤1mm（膠厚1.5 mm的正膠）
l 對(duì)準(zhǔn)精度：±0.6mm
l 顯微鏡掃描臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm;Y:10mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規(guī)則片）
厚度0.1mm--6mm
l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍
目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
l 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?
l *焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）
l 光源平行性：3 ?
l 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面溫度<35 ?C
l 單層曝光一鍵完成
l 采用球氣浮+三爪找平
l 汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
3．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）?900mm(寬) ?1500mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
l 冷卻風(fēng)扇
l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
l 光刻機(jī)底座
l 工位切換臺(tái)（氣缸）
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成
l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)
l 基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
l 承片臺(tái)4個(gè)：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（可按用戶要求增減）
l 掩模夾4個(gè)：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）
l 樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
l 光源、 電源
l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
l CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，22寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
l 單片機(jī)控制系統(tǒng)
l 控制面板
l 控制柜桌
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動(dòng)
l 氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
l 真空泵一臺(tái)
l 空壓機(jī)一臺(tái)
l 配套接口管道
（7）技術(shù)資料
l 使用維修說(shuō)明書
l 產(chǎn)品檢驗(yàn)合格證
