產(chǎn)品簡介
多溫區(qū)烘膠臺(WH-HP-02)是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品,可以用于光刻工藝中烘膠工藝,包括前烘、中烘和后烘,并具有分段式程控升溫。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動測溫控溫,升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點,可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。此外,此儀器*特點是具有3個溫控區(qū)域,可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度,可同時/單獨工作,克服了常規(guī)烘膠臺只有一個溫控區(qū)域,需要多個溫度控制時必須來回切換升溫/降溫的缺點,*提高了烘膠效率,以及烘膠過程的溫度一致性。
多溫區(qū)烘膠臺(熱板/烤膠機)使用說明書下載
技術(shù)參數(shù)
2烘膠溫度:室溫~300℃;
2持續(xù)烘膠時間:~15min以內(nèi)為宜;
2控溫精度:±1℃;
2溫度均勻性:<±5%;
2烘膠板規(guī)格:φ210 mm(7寸);φ130 mm(5寸)
2參數(shù)設(shè)定:觸摸屏設(shè)置參數(shù);
2控溫形式:PID控溫系統(tǒng);
2電源輸入:AC220V±10V/50HZ;
2功率:2.5 KW;
2重量:80 kg;
2外形尺寸:580(W)*706(D)*187(H)mm;480(W)*580(D)*200(H)mm
特征圖解
操作界面
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標(biāo)簽:   烘膠