產(chǎn)品名稱:
中科院微電子所KW-4A勻膠機(jī)
一、KW-4A勻膠機(jī)產(chǎn)品介紹:
1、中科院微電子所KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。
2、該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
3、通常配無油真空泵一起使用。經(jīng)過20多年的發(fā)展,目前產(chǎn)品占國內(nèi)市場的70%以上。
4、目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
二、KW-4A勻膠機(jī)規(guī)格參數(shù):
1、調(diào)速范圍和勻膠時間
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-2000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1300-8000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時間:3-60秒
2、適用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠(硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等各種材料)。
3、LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±3%?!?/span>
4、電機(jī)功率:40W
5、真空泵抽氣速率≥60升/分
6、體積小,重量輕,操作簡便
7、儀器尺寸:210×220×160mm
8、標(biāo)配 3 個基片托盤:直徑 8mm,1 英寸,2 英寸,(4英寸可選配。)
9、可選配件無油泵
無油真空泵基本參數(shù):
1) 型號: AP-550v;
2) 抽速:1.5 升/秒;
3) 功率:320W;
4) 噪音:58db;
5) 電壓、頻率:~ 220V/50Hz;
6) *真空度:﹣700mmHg;
7) 重量:5.8kg;
8) 外形尺寸:240×130×200mm。
三、KW-4A 勻膠機(jī)產(chǎn)品主要特點(diǎn)
1) 開關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2) 轉(zhuǎn)速在 500~8000 轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3) 采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動轉(zhuǎn)換到 高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào),時間分別控制在 1~18 秒 和 3 秒~1 分鐘。
4) 具有定時功能。
5) 測速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高。
6) "吸片"采用電磁閥控制氣路,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機(jī)工作,適合 流水線的工藝,提高了效率。
7) 在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音低。
四、KW-4A型勻膠機(jī)使用說明
1) 將塑料管接到勻膠機(jī)后面板的抽氣嘴上。
2) 電源線插座插入無油泵底座“~220V”插孔里。
3) 電源線插頭插入電源線接板的~220V。
4) 此泵有兩個氣嘴,一個氣嘴已接好塑料管,另一端接到勻膠機(jī)后面板即
可,另一只氣嘴為出氣嘴,不要堵住。
5) 電源開關(guān)“O”為關(guān)閉,“-”為開啟。
6) 將開關(guān)置于“-”位置,真空泵即可運(yùn)轉(zhuǎn)。
7) 和勻膠機(jī)連用時,當(dāng)需要吸片時,先開泵電源,真空泵應(yīng)處于工作狀態(tài),
只需要再按勻膠機(jī)面板上的吸氣鍵,即可控制通電。
8) 不工作時將泵上的開關(guān)斷開。
標(biāo)簽:   勻膠