三維磁場探針臺

產(chǎn)品概述：

北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風(fēng)冷（磁場較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應(yīng)用范圍：

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。

三維磁場探針臺技術(shù)指標

三維磁場探針臺選型注意事項：

※*大需要測幾inch的晶圓或者器件！是否需要測試破片或者單顆芯片！*小的單顆芯片尺寸！

※探針臺機械精度要求多高！

※點測樣品的電極尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路！

※*多需要幾個探針同時去點測！

※是否會用到探針卡測試！

※光學(xué)顯微鏡的*小分辨率需要用到多少！

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測！

※探針點測時，對電流的要是否達到100fa或者以下！低

電容要是否要做到0.1pf！是否有射頻需求！

※接駁的測試儀器接口有哪些！

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫！ 是否需要密閉腔體！

※對chuck的漏電要求怎樣！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣！