高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)JH60E
產(chǎn)品概述：
本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測(cè)量復(fù)雜的切換繼電器——開(kāi)關(guān)組裝成一體，大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線(xiàn)與操作。JH10 可單獨(dú)做恒流源、微伏表使用。用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻）(Magnetoresistance)等
技術(shù)指標(biāo)：
* 磁 場(chǎng)：10mm 間距為 2T 30mm 間距為 1T
* 樣品電流：0.05uA~50mA(調(diào)節(jié) 0.1nA)
* 測(cè)量電壓：0.1uV~30V
* 提供各類(lèi)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)材料，各級(jí)別硅與砷化鎵（靈敏度與精度不同）
* *小分辨率：0.1GS
* 磁場(chǎng)范圍：0-1T
* 配合高斯計(jì)或數(shù)采板可計(jì)算機(jī)通訊
* I-V 曲線(xiàn)及 I-R 曲線(xiàn)測(cè)量等
* 霍爾系數(shù)、載流子濃度等參數(shù)隨溫度的變化曲線(xiàn)
* 電阻率范圍：10-7~1012 Ohm*cm
* 電阻范圍：10 m Ohms~ 6MOhms
* 載流子濃度：103~1023cm-3
* 遷移率：0.1~108cm2/volt*sec
* 溫度調(diào)節(jié) 0.1K
* 溫區(qū)：293K-470K
* 測(cè)試全自動(dòng)化，一鍵處理
* 可實(shí)現(xiàn)相同溫差間的連續(xù)測(cè)量
各系統(tǒng)參數(shù)：
高精度電磁鐵
極頭直徑 100mm;
N，S 間距 10mm 時(shí)*大磁場(chǎng) 20000Gs;
N，S 間距 20mm 時(shí)*大 13000 高斯;
N, S 間距 30mm 時(shí)*大磁場(chǎng) 10000 高斯;
均勻區(qū)：間距 60mm 時(shí)直徑 10mm均勻度范圍; 1%
自重 110 公斤 含支架及輪子
高精度雙極性恒流電源
輸出： ±10A±80V 功率；800W
① 電源輸出電流可在正負(fù)額定*大電流之間連續(xù)變化
② 電流可以平滑過(guò)零點(diǎn)，非開(kāi)關(guān)換向
③ 輸出電流、電壓四象限工作（適合感性負(fù)載）
④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007～0.3F.S./s(F.S.為額定*大輸出電流）
※ 電流穩(wěn)定度高，紋波低
①電流穩(wěn)定度：優(yōu)于±25ppm/h（標(biāo)準(zhǔn)型）；優(yōu) 于±5ppm/h（高穩(wěn)型）② 電流準(zhǔn)確度：±（0.01%設(shè)定值+1mA） ③ 電流分辨率：20 bit，例 15A 電源，電流分辨率為 0.03mA
④ 源效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在供電電壓變化 10%時(shí)，輸出電流變化量）
⑤ 負(fù)載效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在負(fù)載變化 10%時(shí)，輸出電流變化量）
⑥ 電流紋波（RMS）：小于 1mA
高精度高斯計(jì)：
精度：讀數(shù)的±0.30% ;
分辨力：0.01mT 量程:0-3T ;
探頭厚度:1.0mm ;
長(zhǎng)度 100mm 數(shù)字;
Rs-232 接口數(shù)據(jù)讀取軟件配 GP3 型探頭
高斯計(jì)探頭支架及樣品架 全鋁非導(dǎo)磁支架 5-70mm 可調(diào)
樣品架夾具（按要求定制）
霍爾效應(yīng)系統(tǒng)軟件 可數(shù)字化調(diào)節(jié)磁場(chǎng)及電流,測(cè)試各類(lèi)材料參數(shù)
高溫恒溫器： （293K-470K）高低溫真空容器
TESK301恒溫儀： 控溫（65k-600k)
真空泵 K25 真空泵
恒流源及測(cè)試表
恒流源量程：±50nA-±50mA；
分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)；
高精度電壓數(shù)采儀范圍 0. 1uV-30V
精度：0.01%
內(nèi)置測(cè)試矩陣轉(zhuǎn)換卡；
歐姆接觸套件 根據(jù)不同材料的歐姆接觸制作套件
系統(tǒng)組成：
高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵、高溫真空腔、高斯計(jì)、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計(jì)算機(jī)及軟件組成。其中，電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流產(chǎn)生磁場(chǎng)；高斯計(jì)測(cè)量電磁鐵產(chǎn)生的均勻磁場(chǎng)值；恒流源一方面給樣品提供樣品測(cè)試電流，用于霍爾效應(yīng)測(cè)試，一方面用來(lái)測(cè)量樣品反饋的霍爾電壓；被測(cè)樣品置于高溫真空腔中，由高溫膠固定，并作為四個(gè)測(cè)試點(diǎn)；高溫真空腔引出 4 根導(dǎo)線(xiàn)，兩個(gè)連接控溫儀進(jìn)行溫度的測(cè)量及控制，另 1 根是高溫探頭引線(xiàn)連接到高斯計(jì)上，還有 1 根是霍爾樣片連接線(xiàn)連接到恒流源上；計(jì)算機(jī)連接高斯計(jì)、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源，通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)控制通過(guò)被測(cè)樣品的電流和磁場(chǎng)值，并獲取測(cè)得的電壓值。
可測(cè)試材料: ?
半導(dǎo)體材料：SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等
低阻抗材料：石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等
高阻抗材料：半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等
