霍爾效應(yīng)測(cè)試儀，是用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具。

該儀器為性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性?xún)r(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀,在國(guó)內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶(hù)和知*度。儀器輕巧方便，易于攜帶，主要用于量測(cè)電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或固體材料均可。

本儀器系統(tǒng)由：電磁鐵、高精度電源、高斯計(jì)、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾探頭、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。

技術(shù)指標(biāo)：

* 磁 場(chǎng)：間距 10mm情況下10700 高斯，間距20mm 情況下7000 高斯。

*樣品電流：50nA~50mA（*小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA）

*測(cè)量電壓：0.1uV~30V

* 提供各類(lèi)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)材料，各級(jí)別霍爾器件（靈敏度與精度不同）

**小分辨率：1GS

*磁場(chǎng)范圍：0-±1T

*配合高斯計(jì)或數(shù)采板可與計(jì)算機(jī)通訊

* I-V 曲線(xiàn)及 I-R 曲線(xiàn)測(cè)量等 ▲ 電阻率范圍：10-7~1012 Ohm*cm

*電阻范圍：10 m Ohms~ 6MOhms

*載流子濃度：103~1023cm-3

*遷移率：0.1~108cm2/volt*sec

*測(cè)試全自動(dòng)化，一鍵處理

*專(zhuān)業(yè)的歐姆接觸組合套件

樣品測(cè)試：

設(shè)置控制電流、磁場(chǎng)和霍爾片厚度，點(diǎn)擊“開(kāi)始測(cè)試”按鈕，軟件將完成一鍵測(cè)試過(guò)程，直至計(jì)算出所有霍爾參數(shù)。每次測(cè)試完后，可選擇保存該計(jì)算結(jié)果值，然后點(diǎn)擊“**顯示”按鈕，以進(jìn)入下一次測(cè)試。

若保持磁場(chǎng)大小不變，改變控制電流的大小，可通過(guò)畫(huà)圖操作觀察Is 與 VH的關(guān)系；若保持控制電流大小不變，改變磁場(chǎng)的大小，可通過(guò)畫(huà)圖觀察 B 與 VH 的關(guān)系。