霍爾效應(yīng)測試儀，是用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具。

該儀器為性能穩(wěn)定、功能強大、性價比高的霍爾效應(yīng)儀,在國內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和知*度。儀器輕巧方便，易于攜帶，主要用于量測電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或固體材料均可。

本儀器系統(tǒng)由：電磁鐵、高精度電源、高斯計、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾探頭、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。

技術(shù)指標(biāo)：

* 磁 場：間距 10mm情況下10700 高斯，間距20mm 情況下7000 高斯。

*樣品電流：50nA~50mA（*小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA）

*測量電壓：0.1uV~30V

* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料，各級別霍爾器件（靈敏度與精度不同）

**小分辨率：1GS

*磁場范圍：0-±1T

*配合高斯計或數(shù)采板可與計算機通訊

* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等 ▲ 電阻率范圍：10-7~1012 Ohm*cm

*電阻范圍：10 m Ohms~ 6MOhms

*載流子濃度：103~1023cm-3

*遷移率：0.1~108cm2/volt*sec

*測試全自動化，一鍵處理

*專業(yè)的歐姆接觸組合套件

樣品測試：

設(shè)置控制電流、磁場和霍爾片厚度，點擊“開始測試”按鈕，軟件將完成一鍵測試過程，直至計算出所有霍爾參數(shù)。每次測試完后，可選擇保存該計算結(jié)果值，然后點擊“**顯示”按鈕，以進入下一次測試。

若保持磁場大小不變，改變控制電流的大小，可通過畫圖操作觀察Is 與 VH的關(guān)系；若保持控制電流大小不變，改變磁場的大小，可通過畫圖觀察 B 與 VH 的關(guān)系。