AVOS AR系的主動(dòng)隔振系統(tǒng)(減震臺(tái)) - 半導(dǎo)體行業(yè)的主動(dòng)隔振解決方案
輕巧緊湊的臺(tái)式主動(dòng)隔振系統(tǒng)
AVOS AR系列可抵消敏感設(shè)備的不必要振動(dòng)。簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)使其可以無(wú)縫地成為工作站環(huán)境的一部分,無(wú)需后續(xù)調(diào)整。AVOS AR系列由具有精密儀器專業(yè)知識(shí)的工程師、物理學(xué)家和的行業(yè)顧問開發(fā),能顯著減少振動(dòng)和干擾方面的有效性,是實(shí)驗(yàn)室使用的革命性和關(guān)鍵性工具。
適用于AFM、STM、臺(tái)式SEM、數(shù)字顯微鏡......
輕巧緊湊的AVOS AR xxx主動(dòng)隔振系統(tǒng),可抵消各種高分辨率顯微鏡的不必要振動(dòng)。簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)使其可以無(wú)縫地成為工作站環(huán)境的一部分,其直接的組成無(wú)需后續(xù)調(diào)整。
優(yōu)勢(shì)
的架構(gòu)
六個(gè)自由度上的主動(dòng)隔振
高度最短,重量最輕
改善顯微鏡性能和圖像質(zhì)量
輕松集成到工作站環(huán)境
無(wú)需后續(xù)調(diào)整
*解耦的架構(gòu)可隔離來(lái)自地板的振動(dòng)和工具產(chǎn)生的振動(dòng)