幾何放大倍率 2100x | 總放大倍率 >23000x | 細(xì)節(jié)分辨率 小于1微米 |
亞微米X射線管
類型 | 開(kāi)放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準(zhǔn)直功能 |
電壓 | 160KV |
功率 | 20W |
靶 | 載體鎢靶,并可旋轉(zhuǎn)以多次使用 |
燈絲 | 鎢絲,經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu),更換簡(jiǎn)單快捷,20分鐘內(nèi)完成 |
真空 | 無(wú)油式低真空泵+渦輪分子真空泵 |
數(shù)字成像鏈 | 高分辨率4” 雙視野圖像增強(qiáng)器2M像素高分辨率數(shù)字相機(jī) |
總體結(jié)構(gòu) | 高精度抗震動(dòng)、5軸同步驅(qū)動(dòng) |
檢測(cè)范圍 | 410mm×410mm |
工件尺寸/重量 | 410mm×410mm/5kg |
ovhm-斜角視圖旋轉(zhuǎn) | 可調(diào)視角70°,n×360° |
操控 | 操縱桿控制或鼠標(biāo)(手動(dòng)模式)和數(shù)控編程控制(自動(dòng)模式) |
軸速(X-Y-Z) | 10μm/s到80mm/s |
操控輔助功能 | X射線影像導(dǎo)航圖,點(diǎn)擊移動(dòng)功能,點(diǎn)擊放大功能,自動(dòng)保持視野中心功能,激光瞄準(zhǔn) |
防碰撞 | 防止檢測(cè)樣品與射線管產(chǎn)生碰撞 |
phoenix x|act base | 的X射線圖像分析軟件,包含圖像對(duì)比增強(qiáng)和濾波功能、測(cè)量功能、數(shù)控編程功能 |
bga|module BGA | 焊點(diǎn)自動(dòng)檢測(cè)功能 |
vc|module | 空隙面積比自動(dòng)計(jì)算,包括多芯片的貼裝空隙檢測(cè)功能 |
尺寸
尺寸(W x H x D) | 1800mm×1900mm×1815mm(不包括控制臺(tái)) | ||
高度可調(diào)控制面板 | 400mm | 重量 | 2050kg |
防護(hù) | 鉛鋼防護(hù)結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的屏蔽室 |
輻射泄漏劑量率 | <1μSv/h,符合 |
傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置 | 傾斜±45°和旋轉(zhuǎn)n×360°,工件重量為2kg |
輔助裝置 | 十字線激光 |
旋轉(zhuǎn)臺(tái)用PCB板支架裝置 | 載板尺寸310mm×310mm (12"×12") |
XY-平臺(tái) | 增大檢測(cè)區(qū)域?yàn)?10mm×510mm (20"×20") (不使用旋轉(zhuǎn)臺(tái)) |