高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到世界水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
特點(diǎn)
規(guī)格
選購(gòu)件
特點(diǎn)
大探針電流90nA，實(shí)現(xiàn)快速加工和大面積加工
焊線的截面加工
（加工尺寸 寬：95µm 深：55µm， 加工時(shí)間 20min）
通過提高極低加速電壓（0.5kV～）加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率，實(shí)現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品
- *
- 1kV以下為選配
可觀察高分辨率SIM成像（二次電子成像分辨率高達(dá)4nm@30kV）
正常部位
彎折部位
鋁罐的截面SIM圖像
采用高精度5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)
可在樣品臺(tái)移動(dòng)（包括傾斜）時(shí)自動(dòng)對(duì)多個(gè)部位進(jìn)行多種加工。
*的操作性能和多種多樣的加工模式
- 截面制備程序加工
- TEM/STEM樣品程序加工
- 自動(dòng)連續(xù)加工
- TEM樣品自動(dòng)連續(xù)精加工軟件
- 位圖加工
- Vector Scan加工
- 制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他
懸空納米導(dǎo)線制作
樣品來源：兵庫縣立大學(xué) 松井真二 先生
SIM像三維重構(gòu)分析
等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進(jìn)行，可取的多張截面連續(xù)SIM像，并進(jìn)行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒，孔洞等3維分布狀態(tài)。
半導(dǎo)體封裝材料中的填料分布分析示例
使用多路氣體系統(tǒng)（MGS-II）修復(fù)電路
該系統(tǒng)可對(duì)應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體。
- 鎢沉積氣體
- 鉑沉積氣體
- 絕緣膜制備用沉積氣體
- 氟化氙蝕刻氣體
- 有機(jī)類蝕刻氣體
- 碳沉積氣體
使用XeF2氣體實(shí)現(xiàn)的大深徑比孔加工
以及采用鎢沉積引線
豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能
日立*公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時(shí)間。
- 光鏡圖像與SIM像的鏈接
雙光標(biāo)功能
日本第4634134號(hào) 美國(guó)第7595488號(hào) - 與缺陷檢測(cè)設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接
已截?cái)嗟木г蛐酒部膳c缺陷檢測(cè)設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接。 - CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件
規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm（t）以下 |
| 樣品臺(tái) | 5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
| 加速電壓 | 1～30kV?。?.5kV～ 選配） （0.5～1.0kV ： 步長(zhǎng)0.1kV） （1.0～2.0kV ： 步長(zhǎng)0.2kV） |
| 二次電子分辨率 | 4nm＠30kV |
| 大探針電流 | 90nA |
| 大探針電流密度 | 50A/cm2 |
選購(gòu)件
- 4通道供氣系統(tǒng)
- 自動(dòng)連續(xù)加工軟件
- TEM樣品自動(dòng)加工軟件
- 控制器顯微鏡 其他
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- ：可選擇其他MI系列的各種選配件。
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類
- 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)
- 透射電子顯微鏡 (TEM/STEM)
