主要特點:
1. 新型電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計達(dá)到掃描電鏡世界分辨率:二次電子0.4nm(30KV),STEM0.34nm(30KV)。
2. 用改良的高真空性能和*的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。
3. 采用全新設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 半導(dǎo)體器件
2. 高分子材料
3. 納米材料
4. 生命科學(xué)