日本科賦樂(lè)微小流量質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC
3200系列質(zhì)量流量控制器-微小流量
應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場(chǎng)合,尤其適合微小流量測(cè)量
適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y(cè)試的低流量、半導(dǎo)體等使用
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
日本科賦樂(lè)微小流量質(zhì)量流量控制器
性能參數(shù):
3200質(zhì)量流量控制器
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
精度 | ±1.0%FS |
重復(fù)性 | ±0.2%FS |
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以內(nèi) |
耐壓 | 1.0Mpa |
進(jìn)口大壓力 | O.3Mpa |
動(dòng)作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
材質(zhì) | 本體SUS316L |
密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號(hào) | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 約1000g |
★使用注意
一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。
二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。
三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。
五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。