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工作原理

Alicat層流壓差式質量流量計與高可調比的電磁比例閥結合，再配合高效率的PID控制算法，組成氣體質量流量控制-反饋回路，實現氣體質量流量的監(jiān)控，這就是Alicat MFC的工作原理。

除了質量流量控制模式，Alicat MFC還可以切換到體積流量控制器模式，壓力（絕壓或表壓）控制模式，在對應的控制模式下可以實現不同參數變量的控制。

主要特點

Alicat 質量流量控制器具有以下特點：

1.響應快：特殊的結構和工作原理，最快可達到100ms響應，響應時間與實際工況和PID參數設置有關，可通過調節(jié)PID值改變響應速度和流量穩(wěn)定度。

2.無需預熱：上電即可使用，無需提前預熱，節(jié)省了等待時間。

3.多參數測量/控制：內置溫度、壓力傳感器，可同時顯示氣體壓力、溫度、質量流量、體積流量等多種參數，可選擇控制質量流量、體積流量或壓力。如果選配了累計流量功能，還可以控制批量氣體累計流量。

4.背光液晶屏：具有單色或彩色液晶屏，帶屏幕背光燈，可以更直觀的查看實時數據，方便讀數和調試。

5.支持上百種氣體：內置100多種氣體的校準數據，切換氣體模式后即可測量/控制不同氣體，無需換算或重新校準。

6.通訊和操作模式：有多種數字通訊和模擬信號模式可供選擇，以便采集和記錄數據，也有面板按鍵可手動操作調試。

7.精度：普通精度為±（0.8%讀數+0.2%量程）；高精度為±（0.4%讀數+0.2%量程）。

8.量程：量程范圍寬，可定制。常規(guī)流量計最小量程為0~0.5SCCM，最大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。

型號系列

Alicat質量流量控制器產品有多種不同系列，以滿足不同客戶和應用的需求。

典型應用

1. 氣體混合、稀釋，標準氣體發(fā)生器流量控制。常用型號：MC, MCR, MCS, Basis。

2. 大氣采樣儀、分析儀器氣體流量控制。常用型號：MC，MCS，MCR。

3. 燃燒控制，火焰溫度控制。常用型號：MC, MCR, MCRW, Basis。

4. 氮化爐、多用爐內氣氛控制。常用型號：MCR，MCRS，LCS。

5. 光伏制造，多晶硅爐氣氛控制。常用型號：MCH，MCR。

6. 生物發(fā)酵罐氣氛控制。常用型號：MC，Basis。

7. 新能源、燃料電池測試系統。氣體流量或壓力控制。常用型號：MC, MCR, PCR。

8. 光纖制造。常用型號：MC。

9. 泄漏檢測。常用型號：MC，MCW，MCD。

10. 真空鍍膜。常用型號：MC，MCV。

11. 高壓應用。常用型號：MCQ。

選型參數

為了選擇適合你應用的質量流量控制器，我們需要確定以下參數。

如果您有應用或選型方面的疑問，歡迎聯系我們，我們誠摯的希望可以幫到您！