小型高純氣壓力傳感器 ZT11系列日本長野計器NAGANOKEIKI
產(chǎn)品描述：半導(dǎo)體行業(yè),各種半導(dǎo)體設(shè)備的超純氣體壓力測量
產(chǎn)品特征
· 產(chǎn)品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調(diào)及滿偏調(diào)節(jié)功能
· 產(chǎn)品可靠壽命長
小型高純氣壓力傳感器 ZT11系列日本長野計器NAGANOKEIKI
產(chǎn)品描述：
半導(dǎo)體行業(yè),各種半導(dǎo)體設(shè)備的超純氣體壓力測量
產(chǎn)品特征
· 產(chǎn)品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調(diào)及滿偏調(diào)節(jié)功能
· 產(chǎn)品可靠壽命長
規(guī)格參數(shù)
| 測量介質(zhì) | 各種工業(yè)氣體、半導(dǎo)體氣體 |
| 電氣連接 | 插頭式 |
| 連接口徑 | 1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸 |
| 接液部材質(zhì) | 接頭： SUS316L |
| 壓力范圍 | 0～0.3→0～20MPa |
| -0.1～0.3→-0.1～2MPa | |
| 精 度 | ± 1.0% |
| 電源 | 24V DC |
| 輸出 | 4-20mA 1-5V DC |
| 響應(yīng)速度 | 1ms以下 |
| 溫度范圍 | -20-70℃ |
| 防護等級 | 室內(nèi)用 |
小型高純氣壓力傳感器 ZT11系列日本長野計器NAGANOKEIKI
