半導體行業(yè)用壓力傳感器 ZT15系列日本長野計器NAGANOKEIKI
產品描述:
半導體行業(yè),各種半導體設備的超純氣體壓力測量
產品特征
· 產品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調及滿偏調節(jié)功能
· 產品可靠壽命長
規(guī)格參數(shù)
測量介質 | 各種工業(yè)氣體、半導體氣體 |
電氣連接 | 插頭式 |
連接口徑 | 1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸 |
接液部材質 | 接頭: SUS316L |
壓力范圍 | 0~0.3→0~20MPa |
-0.1~0.3→-0.1~2MPa | |
精 度 | ± 1.0% |
電源 | 24V DC |
輸出 | 4-20mA 1-5V DC |
響應速度 | 1ms以下 |
溫度范圍 | -20-70℃ |
防護等級 | 室內用 |
半導體行業(yè)用壓力傳感器 ZT15系列日本長野計器NAGANOKEIKI