同時上下観察,定位二視場光學(xué)系統(tǒng)(UD-4x-15-OP)
1.用途:用于半導(dǎo)體、電子基板、LCD、TFT、PDP等領(lǐng)域的觀察、測量及定位。
2.能同時觀察上部和下部的2視場光學(xué)系。
3.Mask、液晶板等粘接時來作alignment用。
4.光學(xué)倍率:上下各4.0x
5.工作距離:上下工作距離15mm
6.照明部:φ14 LED同軸照明、上下共裝有LED圓型外照明
7.光軸精度:±10um
8.対應(yīng)CCD英寸尺寸:1/3