工作原理:
工業(yè)分體式一體化傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過測(cè)量電路就可得到正?比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度)的測(cè)量和控制。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、高溫膜片,精度高
2、抗干擾力好
3、可測(cè)量高溫介質(zhì)
4、使用安裝方便
5、寬量程,滿足不同環(huán)境
6、質(zhì)保期:12個(gè)月
7、壓力溫度同是測(cè)量
壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測(cè)壓力的。
硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。
當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用普遍。
工業(yè)分體式一體化傳感器主要技術(shù)參數(shù):
被測(cè)介質(zhì): 氣體、液體
壓力類型: 表壓,負(fù)壓,正負(fù)壓,絕壓
量 程:-100KPa~1MPa~10MPa~60MPa~100MPa~400MPa;±100KPa等正負(fù)混合壓力
同時(shí)輸出 :無線GPRS傳輸(需插SIM卡),RS485數(shù)字信號(hào),0~5VDC模擬信號(hào),TTL/5V高低電平信號(hào)。
綜合精度: ±0.1%FS(量程60MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS
供 電: 交流220VAC(變壓直流12VDC),直流7-24VDC (可電池供電)
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
介質(zhì)溫度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~500℃(可選)
環(huán)境溫度: -20~70℃
儲(chǔ)存溫度: -40~70℃
相對(duì)濕度: 0~95% RH
密封等級(jí): IP65/IP68
過載能力: 150%FS
響應(yīng)時(shí)間: ≤10mS
穩(wěn) 定 性:≤±0.15%FS/年
振動(dòng)影響:≤±0.15%FS/年(機(jī)械振動(dòng)頻率20Hz~1000Hz)
電氣連接: 標(biāo)準(zhǔn)串口,航空接插件
壓力連接: M20×1.5,其它螺紋可依據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)