工作原理:
磁聚焦分體式一體化傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過測量電路就可得到正?比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、應變、流量、真空度)的測量和控制。
壓阻式傳感器的結構
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應力區(qū),另兩條處于拉應力區(qū),相對于膜片中心對稱。
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條,兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。
壓阻式傳感器是根據(jù)半導體材料的壓阻效應在半導體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。
當基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應用普遍。
磁聚焦分體式一體化傳感器產(chǎn)品特點:
1、高溫膜片,精度高
2、抗干擾力好
3、可測量高溫介質(zhì)
4、使用安裝方便
5、寬量程,滿足不同環(huán)境
6、質(zhì)保期:12個月
7、壓力溫度同是測量
主要技術參數(shù):
被測介質(zhì): 氣體、液體
壓力類型: 表壓,負壓,正負壓,絕壓
量 程:-100KPa~1MPa~10MPa~60MPa~100MPa~400MPa;±100KPa等正負混合壓力
同時輸出 :無線GPRS傳輸(需插SIM卡),RS485數(shù)字信號,0~5VDC模擬信號,TTL/5V高低電平信號。
綜合精度: ±0.1%FS(量程60MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS
供 電: 交流220VAC(變壓直流12VDC),直流7-24VDC (可電池供電)
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
介質(zhì)溫度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~500℃(可選)
環(huán)境溫度: -20~70℃
儲存溫度: -40~70℃
相對濕度: 0~95% RH
密封等級: IP65/IP68
過載能力: 150%FS
響應時間: ≤10mS
穩(wěn) 定 性:≤±0.15%FS/年
振動影響:≤±0.15%FS/年(機械振動頻率20Hz~1000Hz)
電氣連接: 標準串口,航空接插件
壓力連接: M20×1.5,其它螺紋可依據(jù)客戶要求設計