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等離子體監(jiān)測系統(tǒng)

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2020-09-01
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量475
  • 人氣值2426
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等離子體監(jiān)測系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情
等離子體監(jiān)測系統(tǒng)

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜,實(shí)時監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度;由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計(jì)算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果,可反饋控制等離子體的發(fā)生,從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括:高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測量等離子體鍍膜沉積情況,監(jiān)測等離子濁刻,檢查表面清潔處理,分析等離子反應(yīng)腔控制情況,監(jiān)測異常污染排放現(xiàn)象,磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測和控制優(yōu)化。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)基本性能:
測量范圍:測量發(fā)射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數(shù)
光譜范圍:200-1100nm
探測器:2048像素CCD
光譜分辨率:1nm
A/D轉(zhuǎn)換:14
通訊方式:USB1.1
供電方式:直流12V;1.25A
應(yīng)用場合:等離子體鍍膜沉積/等離子體監(jiān)測/安全監(jiān)控/反映過程優(yōu)化/終點(diǎn)測量

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件
實(shí)時在線監(jiān)測等離子過程的發(fā)射光譜
監(jiān)測和控制的雙屏幕技術(shù)
8數(shù)字量輸入/輸出;4模擬量輸出
終點(diǎn)、啟動、停止及限位的信息音提示

備選附件
SpecLine Software:峰值查找和譜線辨別
UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖
COL-UV-6 & COL-UV-30準(zhǔn)值透鏡
VFT真空接管
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