等離子體監(jiān)測系統(tǒng) | ||||
PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜,實(shí)時監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度;由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計(jì)算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果,可反饋控制等離子體的發(fā)生,從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。 PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括:高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。 PlasCalc應(yīng)用于測量等離子體鍍膜沉積情況,監(jiān)測等離子濁刻,檢查表面清潔處理,分析等離子反應(yīng)腔控制情況,監(jiān)測異常污染排放現(xiàn)象,磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測和控制優(yōu)化。
色度計(jì)(ADMESY) SOLAR公司的波長計(jì)SHR、SHR-IR波長計(jì) 積分球(Labsphere) 溫控支架(Quantum Northwest)
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