縮短觀察時(shí)間 高通量掃描
通過新開發(fā)的可快速響應(yīng)的HT掃描器以及軟件與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的優(yōu)化,成功實(shí)現(xiàn)以傳統(tǒng)設(shè)備5倍以上的速度(與本公司相比)獲取圖像數(shù)據(jù)。
掃描器可簡單更換,因而可使用傳統(tǒng)掃描器。另外,可通過在原SPM-9700上追加HT掃描器,實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高效率分析。
分析案例
? 金屬蒸鍍膜的表面粗糙度分析
以1Hz和5Hz的掃描速度對金屬蒸鍍膜的表面形貌進(jìn)行觀察。畫質(zhì)及表面粗糙度的分析結(jié)果相同。
? 光柵溝槽形狀檢測
以1Hz和5Hz的掃描速度對光柵的表面形貌進(jìn)行觀察。經(jīng)過斷面形狀分析,溝槽形狀檢測結(jié)果均相同。