儀器簡(jiǎn)介：
瑞士CSM的動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì)廣泛用于表征各種涂鍍層、薄膜的機(jī)械性能、產(chǎn)品品質(zhì)，包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等，表征的材料幾乎包括所有類型的材料：柔軟、硬質(zhì)、脆性或延展性材料。
技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)載荷范圍:0.1-500mN(可選0.03-30N);
載荷分辨率:0.04µN;
深度分辨率:0.04nm;
瑞士CSM的動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì)的應(yīng)用領(lǐng)域：
1）半導(dǎo)體技術(shù)：保護(hù)層、金屬層等
2）數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：磁盤保護(hù)涂層、圓盤基底上的磁性涂層、CD上的保護(hù)涂層等
3）光學(xué)元件：隱形眼鏡、光學(xué)抗劃涂層、接觸棱鏡
4）裝飾涂層：蒸發(fā)金屬涂層
5）抗磨損涂層：TiN、TiC、DLC、*、模具、手機(jī)外殼等
6）藥理學(xué)：藥片和藥丸、植入器官、生物組織
7）汽車：油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車片
8）一般工程技術(shù)應(yīng)用：抗耐性橡膠、觸摸屏、潤(rùn)滑劑和潤(rùn)滑油、滑動(dòng)軸承、自潤(rùn)滑系統(tǒng)
9）MEMS微電子領(lǐng)域等
瑞士CSM的動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì)的主要特點(diǎn)：
1.無需光學(xué)測(cè)量殘留壓痕對(duì)角線長(zhǎng)度，全自動(dòng)獲得壓入硬度、維氏硬度、彈性模量等，同時(shí)獲得載荷和位移對(duì)應(yīng)的曲線
2.小載荷可至10mg力（0.1mN),小壓入深度可至100nm，有效克服基底效應(yīng)，適合微米至納米級(jí)鍍層（涂層）或薄膜的機(jī)械性能表征
3.可同時(shí)獲得硬度和楊氏模量數(shù)據(jù)
4.符合ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)
5.有效克服熱漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響
瑞士CSM儀器公司主要產(chǎn)品包括：
測(cè)量材料硬度和彈性模量的納米級(jí)、微米級(jí)儀器化壓入測(cè)試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結(jié)合強(qiáng)度、薄膜抗劃擦能力的納米級(jí)、微米級(jí)、大載荷劃痕測(cè)試儀 (Scratch tester) ；
