耐高壓熱式氣體質(zhì)量流量傳感器閥門LF420-F：簡要描述：用于對小流量氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制，具有耐高壓，精度高，穩(wěn)定性好，可選模擬電路或數(shù)字電路，可靠性高等特點。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
耐高壓熱式氣體質(zhì)量流量傳感器閥門LF420-F技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | LF420-F（模擬型） | LF485-F（數(shù)字型） | |
滿量程范圍 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | ||
量程比 | 控制器50:1 | 流量計100:1 | |
精度 | ±1.0%F.S | ||
線性 | ±0.5%F.S | ||
重復(fù)性 | ±0.2%F.S | ||
閥門類型 | 常閉閥 | ||
響應(yīng)時間 | ≤1S-3S | ||
工作壓差 | 0.1...0.5Mpa | ||
耐壓 | 10MPa | ||
工作環(huán)境溫度 | 5...45℃ | ||
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | ||
通信信號 | 0-5V 或 4-20MA | RS485 MODBUS協(xié)議/RS232 | |
供電方式 | +15V—24VDC（250mA） | ||
密封材料 | 丁晴橡膠 氟橡膠 | ||
接頭尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | ||
電器接頭 | DB9針 | ||
