熱式氣體流量控制器廠家lf420-s:熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要的區(qū)別在于:氣體質(zhì)量流量控制器可以通過自身帶的閥門做PID調(diào)節(jié)程序,能夠自動(dòng)的調(diào)節(jié)和控制閥門的開度,來達(dá)到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)主要是通過傳感器,感應(yīng)氣體的流量大小,并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的*就是檢測(cè)出來的實(shí)際數(shù)據(jù),不會(huì)受到溫度和壓力的影響,實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)用戶也無需在進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償?shù)膿Q算。
熱式氣體流量控制器廠家lf420-s:LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于:擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中,并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。