采用剪切干涉技術(shù)，簡單、直觀的檢測激光光束的平行度，可作為激光器裝調(diào)或?qū)嶒炇夜饴氛{(diào)整的基準。根據(jù)條紋相對于水平基線的旋轉(zhuǎn)角度可以計算出光束準直度；同時，通過判讀干涉條紋的形狀可以分析原始波面的波差分布。 因此，這既是激光束準直檢測儀，又是定性化的光束波前分析儀。

 1、儀器規(guī)格參數(shù)表

（附注：更不同口徑剪切涉儀可依據(jù)客戶需求定制）

2、儀器特點

• 剪切板選用熔石英材料，熱膨脹系數(shù)低，且應(yīng)力?。?/li>
• 可使用波長覆蓋可見光與近紅外波段（400nm~1064nm），上表列出了若干特征波長的技術(shù)參數(shù)；
• QY-SP-08型剪切干涉儀專為激光器光束準直性檢驗設(shè)計，可由監(jiān)視器對激光器輸出的小口徑光束進行觀測。入射光束的功率設(shè)計值為1mw左右，超過此功率值時，請使用衰減片。其他類型的剪切干涉儀對入射光強沒有限制。

一、   測量原理

基于平板剪切干涉原理，采用一塊具有一定厚度并帶有微量楔角的高質(zhì)量光學平板將一個具有空間相干性的波面分割為兩個*相同的波面，并且使這兩個波面彼此相對錯位；因為波面上各點是彼此相干的，因此在這兩個波面的重疊區(qū)將產(chǎn)生干涉

同時，若入射波前攜帶波像差，則剪切干涉條紋不再是直條紋，對應(yīng)不同的像差類型，條紋形態(tài)會發(fā)生相應(yīng)的變化。因此，可依據(jù)條紋形狀定性分析波前相差的類型及幅度。

一、   測量方法

1、光束準直度的判讀：

觀察干涉條紋接收屏條紋的傾斜方向，如圖2所示。若條紋與基準線平行，則光束是準直的；若條紋沿斜上方向傾斜，則光束是發(fā)散的；若條紋沿斜下方向傾斜，則光束是會聚的。

當光束不平行時，通過測量條紋相對于基準線的轉(zhuǎn)角，可推算出光束的發(fā)散角。

波面的曲率半徑及發(fā)散角的計算公式如下：

其中，入射光束直徑d與波長 已知；剪切量 可查看產(chǎn)品目錄的技術(shù)參數(shù)；條紋間距 與波長及剪切板楔角有關(guān)，可參考產(chǎn)品目錄或直接用量具測量；條紋偏轉(zhuǎn)角 可測量得出（需選購帶刻度的接收組件）。代入式(1)、(2)，即可求得光束波面的曲率半徑 及發(fā)散角 。